Etnews teatas, et Samsung Electronics ja SK Hynix on tellinud kõrge NA-ga ultra-ultraviolettkiirguse (EUV) särituse seadme
Dec 09, 2022| Etnews teatas, et Samsung Electronics ja SK Hynix on litograafiahiiu ASML-ilt tellinud järgmise põlvkonna pooljuhtseadmete jaoks High-NA ultra-ultraviolet (EUV) säritusseadme. TSMC ja Inteli järel valmistuvad ka Korea pooljuhtide tootjad 2nm protsessi jaoks võimeliste seadmete kasutuselevõttu. Eeldatavasti tiheneb konkurents kõige arenenumate protsesside pärast.
IT House mõistab, et High-NA EUV seadmed on kallimad kui praegu kasutusel olevad EUV seadmed, kuid see võimaldab ühekordselt rakendada ülipeent protsessi (ühe muster), mis võib oluliselt tõsta tootlikkust. Mis puudutab Samsung Electronicsi, siis on vaja enne 3 nm masstootmist kindlustada kõrge NA-ga EUV seadmed 2 nm masstootmiseks. Olemasolevad EUV-seadmed maksavad hinnanguliselt 200 miljardit vonni (umbes 1,008 miljardit jüaani) kuni 300 miljardit vonni (umbes 1,512 miljardit jüaani), samas kui kõrge NA-ga EUV-seadmete maksumus on hinnanguliselt 500 miljardit vonni (umbes 2,52 miljardit jüaani).
