ASML-i EUV toodang on kasvanud 22 ühikult 2019. aastal 42 ühikuni 2021. aastal
Dec 09, 2022| The Elec andmetel teatas ASML hiljuti 2022. aasta Semiconductor EUV Ecosystem Global Conference'il, et ASML-i toodetud EUV seadmete arv on kasvanud 22-lt 2019. aastal 42-le 2021. aastal ning eeldatavasti ületab sel aastal 50 seadet. Järgmisel aastal suureneb tootmine veelgi. High-NA EUV seadme esialgne versioon on saadaval järgmise aasta lõpus, tootmismudel 2024. aasta lõpus või 2025. aasta alguses.
ASML ütles oma 19. oktoobri kolmanda kvartali kasumiteates: "EUV High-NA äris on ASML saanud täiendavaid tellimusi TWINSCAN EXE:5200 jaoks; kõik EUV kliendid on nüüd esitanud. Kõrge NA käsud." High-NA EUV seade on seade, mis suurendab valguse kogumisvõimega objektiivi numbrilist ava 0,33-lt 0,55-le. Töötleb rafineeritumaid pooljuhtahelaid kui olemasolevad EUV-seadmed. Enamik tööstuse esindajatest nõustub, et kõrge NA-ga seadmed on 2 nm protsesside jaoks hädavajalikud.
